供应链消息人士向WitDisplay透露，应用材料全球首台第6代AMOLED垂直蒸镀机已出货，成功打破日韩厂商在6代蒸镀机的垄断格局。

蒸镀工艺是OLED制造的核心工艺之一，制约着OLED的良率和产能。根据精密金属掩膜板(FMM)放置方向，蒸镀工艺可分为水平蒸镀以及垂直蒸镀。

目前，水平蒸镀是OLED产业的主流，6代水平蒸镀机由日本佳能Tokki和韩国Sunic-System垄断，已量产的6代OLED产线绝大部分采用佳能Tokki蒸镀机，少部分采用Sunic System蒸镀机，所以佳能Tokki是水平蒸镀机的霸主。

不过，水平蒸镀工艺并不完美，一直存在“重力下垂”的技术瓶颈。据介绍，FMM是超薄的金属遮罩，当水平放置时，在重力的作用下FMM中间与边缘存在一定的偏移量，而且FMM尺寸越大偏移的幅度越明显。这不利于提高AMOLED的PPI，ROHM(罗姆半导体)IC芯片 使混色良率降低，大幅提高了AMOLED生产成本。

而垂直蒸镀工艺最大的优点就能避免水平蒸镀工艺FMM“重力下垂”带来的干扰。垂直蒸镀工艺则将FMM垂直放置，FMM和玻璃基板形变小，蒸镀更均匀，像素位置精度(PPA)更高，混色更小，同时可以提升分辨率，降低功耗、成本，成为一个重要的蒸镀工艺制程方向。

当前，只有JDI拥有一条垂直蒸镀工艺低世代量产线，主要用于生产手表用的OLED。JDI表示，垂直方式蒸镀设备所占面积相比目前的水平方式蒸镀设备的减少30%。业内人士也向WitDisplay透露，JDI为苹果手表供应的OLED就是采用垂直蒸镀工艺生产的。

6代、8.5代垂直蒸镀机没有量产案例，三星显示、京东方最新公布的8.6代OLED产线皆采用水平蒸镀机，垂直蒸镀机能否成功挑战更为成熟的水平蒸镀机，值得关注。

审核编辑：刘清

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